容器組件

HORIBA 多量程/多氣體數(shù)字流量控制器

產(chǎn)品名稱：HORIBA 多量程/多氣體數(shù)字流量控制器
產(chǎn)品型號：SEC-Z500X
產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場制作所
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簡單介紹

HORIBA堀場制作所多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器SEC-Z500X

HORIBA 多量程/多氣體數(shù)字流量控制器

的詳細介紹

HORIBA堀場制作所多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器SEC-Z500X

更多詳情咨詢：13024103468 劉經(jīng)理

這是 HORIBA *暢銷的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現(xiàn)場更改氣體類型或滿量程流量。
該質(zhì)量流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 設定點）、壓電閥、高速響應和全金屬特性，可提高制程良率，簡化零件管理。支持數(shù)字/模擬、DeviceNet? 和 EtherCAT® 通信模式。

概要

高精度 ±1.0% 設定點
該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標定數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 公司的標準氣體測量系統(tǒng)測量。
高速響應
裝配“可變 PID 系統(tǒng)”，可在任意兩個設定點之間實現(xiàn) 1 秒響應。可變 PID 根據(jù)流量點設置不斷變化。在滿量程流量和氣體發(fā)生變化時優(yōu)化 PID 系數(shù)。
多氣體/多量程解決方案
配置軟件可以快速方便地更改規(guī)格。一個重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除質(zhì)量流量控制器，即可進行更改。減少了所需的備用質(zhì)量流量控制器的數(shù)量，節(jié)省時間和成本。

SEC-Z500X 質(zhì)量流量控制器適用于各種應用以及半導體制造。閱讀我們的案例分析，了解 SEC-Z500X

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